半導體芯片晶圓製造系統的優化與控制
10/11/2025
10/11/2025
半導體芯片廣泛應用於日常生活中，以迎合現時社會科技迅速發展的需求。半導體芯片産業已成為國家産業轉型的戰略先導，是衡量國家或地區現代化程度和綜合國力的重要標誌。
晶圓製造處於半導體芯片製造的上游，是其中投資最大、工藝最複雜、自動化程度最高、技術水平要求最高的環節。澳門科技大學喬岩副教授及其團隊在科技基金的資助下，開展“數字孿生驅動的晶圓製造系統調度優化與控制＂，以實現半導體設備最大利用率，提升整條半導體生產線的生產效率，滿足產品生產所需的複雜約束，保證晶圓產品的品質。
本項目與位於橫琴的珠海埃克斯智能科技有限公司合作，以多個實際半導體晶圓代工廠產線、多種半導體設備為研究對象，開發了晶圓製造生產線調度方法、半導體設備調度與控制算法。同時，基於所獲得的方法和技術，合作開發了半導體先進規劃排程系統，設備故障即時決策系統，以及設備調度模組。部分系統已在實際晶圓廠和設備廠進行了驗證，半導體先進規劃排程系統可實現複雜場景自動化排程、滿足複雜工藝約束，設備故障決策系統可及時發現各類故障並進行維護，保證了晶圓產品品質，設備調度模組可快速完成調度請求、緊急情形回應、靈活應對各種生產場景以及具有秒級求解能力。
目前，團隊與珠海埃克斯智能科技有限公司繼續圍繞半導體設備智能化體系方面存在的科學與工程問題展開深入交流與探索，包括：半導體設備智能調參、健康監控與預測等。
晶圓製造處於半導體芯片製造的上游，是其中投資最大、工藝最複雜、自動化程度最高、技術水平要求最高的環節。澳門科技大學喬岩副教授及其團隊在科技基金的資助下，開展“數字孿生驅動的晶圓製造系統調度優化與控制＂，以實現半導體設備最大利用率，提升整條半導體生產線的生產效率，滿足產品生產所需的複雜約束，保證晶圓產品的品質。
本項目與位於橫琴的珠海埃克斯智能科技有限公司合作，以多個實際半導體晶圓代工廠產線、多種半導體設備為研究對象，開發了晶圓製造生產線調度方法、半導體設備調度與控制算法。同時，基於所獲得的方法和技術，合作開發了半導體先進規劃排程系統，設備故障即時決策系統，以及設備調度模組。部分系統已在實際晶圓廠和設備廠進行了驗證，半導體先進規劃排程系統可實現複雜場景自動化排程、滿足複雜工藝約束，設備故障決策系統可及時發現各類故障並進行維護，保證了晶圓產品品質，設備調度模組可快速完成調度請求、緊急情形回應、靈活應對各種生產場景以及具有秒級求解能力。
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數字孿生驅動半導體製造系統
半導體設備孿生模擬平台
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